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激光微納制造技術_蘇州光刻加工

隨著產品不斷向微小型化和高端化發展，產品零部件上微細結構的加工制造愈發困難，傳統制造技術幾乎無能為力，(TSV通孔)探尋新型微納制造技術已經成為國內外科技人員研發的重點。其中，激光微納制造技術通過激光與材料的相互作用改變材料的結構特征和性能，研究激光與物質相互作用的非線性效應，探索近場光學原理，力求突破光學衍射極限，實現從微米到納米尺度的加工制造。作為一種前沿制造技術，激光微納制造技術具有加工分辨率高、對材料無選擇性和真三維加工等優勢，可以實現金屬、玻璃、陶瓷、高分子有機物、半導體、生物軟組織等各種材料的微納結構制備。

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激光微納制造技術一般指激光光束對加工對象的影響尺寸范圍在納米到亞微米之間的加工工藝過程。

激光微納制造技術包括飛秒激光直寫、雙光子聚合、干涉光刻、激光誘導表面納米結構等主要工藝方法。

納米尺度材料具有宏觀尺度材料所不具備的一系列優異域能，制備納米材料有許多途徑,其中超快激光微納制造成為通過激光手段制備納米結構材料的熱門方向。

超快激光-般是指脈沖寬度短于10 ps的皮秒和飛秒激光，超快激光的脈沖寬度極窄、能量密度極高、與材料作用的時間極短，會產生與常規激光加工幾乎完全不同的機理，能夠實現亞微米與納米級制造、超高精度制造和全材料制造。

激光增材制造和超快激光微納制造是激光制造技術領域中當前和今后-段時間的兩個熱點，已經被列人“增材制造和激

光制造”國家重點研發計劃。

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