[文章]主題： 微等離子體分類—噴砂氧化 ... 發布者： 噴砂氧化
02/22/2019
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微等離子體分類—噴砂氧化
鋁合金表面彩色等離子陽極氧化技術就是通過等離子體陽極氧化技術在鋁合金表面形成具有一定色調的高致密耐磨的等離子體陽極氧化膜，該技術在精密儀器和光學儀器領域得到了廣泛應用，并正向其他領域擴展。
微等離子體的分類——噴砂氧化廠家來為大家娓娓道來：
一：基帶誘導微等離子體
由一塊介質板, 一根帶狀電極,一塊接地平板電極,以及產生等離子體的放電間隙組成。 （鋁氧化處理）放電間距一般為 0 . 2~ 0 . 5mm。 2. 45GH z的微波通過一根同軸電纜由 S MA接頭導入。
微波帶技術的使用不僅可以將微波精確指向間隙區, 同時也減少了不必要的外空間輻射損失, 有利于耦合效率的提高,從而獲得高密度等離子體。
二：容性耦合微等離子體
容性耦合等離子體放電(又稱 E 模式放電)，是通過匹配器和隔直電容, 將13.56MHz的射頻功率施加到兩塊平行平板電極上，使石英板中寬度為200~500um 的矩形溝槽內的He放電形成等離子體，放電功耗在5~25W 之間。
三：感應耦合微等離子體
感應耦合等離子體放電(又稱 H模式放電 )的原理主要是將射頻電流經由匹配電路傳輸給感應線圈,線圈通過感應形成感應電場,從而激發并維持等離子體。
感應耦合微等離子體系統是無電極放電，（壓鑄鋁氧化）可以長時間操作而不發生任何損害，但該系統通常需要運行在低于1torr的環境下工作, 因而限制了其應用。
四：介質阻擋微等離子體
介質阻擋放電也被稱為無聲放電,通常由兩個平行電極組成,其中至少有一個電極表面復蓋有電介質,當兩極間加上交流高壓或脈沖時,兩極間的氣體被擊穿發生介質阻擋放電。
介質阻擋放電是低溫等離子體，可以在大氣壓下低功耗、低氣體消耗下操作，在發展便攜式小型儀器方面有得天獨厚的優勢。
五：毛細管微等離子體
電介質毛細管復蓋在一個電極表面或同時復蓋在兩個電極表面，毛細管的直徑從 0 . 01~ 1mm不等, 長度-直徑比值從 10: 1到 1 : 1 。在高氣壓下放電時,毛細管末端產生高強度等離子體射流,形成等離子體電極。
頻率對毛細管放電有著很大的影響,該頻率值與長度-直徑比值和工作氣體有很大關聯，毛細管放電有很好的均勻性。
六：微空心陰極微等離子體
微空心陰極采用細圓筒空心電極為陰極，空心陰極的孔徑尺寸為亞毫米量級。在微空心陰極放電過程中, 雙極場勢阱的束縛使得大部分電子被約束在放電腔中,壽命得以延長, 這有利于增加背景氣體的電離,提高等離子體密度。
該結構也稱“微腔放電”或“微結構點擊放電”。
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最后更新: 2019-02-22 17:05:34
