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[產品庫]主題: 光刻機?性能指標及分類—上海庫存 ...   發布者: 上海庫存芯片回收
06/23/2022
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光刻機?性能指標及分類—上海庫存芯片回收

光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術,(庫存IC芯片回收)把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。

光刻機?性能指標——庫存芯片回收公司小編來為大家娓娓道來:

1.

光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。

2.

分辨率是對光刻工藝加工可以達到的至細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統、光刻膠和工藝等各方面的限制。

3.

對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。

4.

曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。

5.

曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區域,光源有汞燈,準分子激光器等。

光刻機?分類:

A 手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度可想而知不高了;

B 半自動:指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧;

C 自動: 指的是 從基板的上載分享,曝光時長和循環都是通過程序控制,自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要。

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最后更新: 2022-06-23 14:05:17
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