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上海鈑金加工淺談機床系統

機床系統總體綜合設計技術。常規機床設計與制造，各環節技術上都有很大寬容度。超精密機床各環節基本都處于一種技術極限或臨界應用狀態，哪個環節稍考慮或處理不周，就會導致整體失敗。上海鈑金加工指出，因此，設計上需對機床系統整體和各部分技術有著非常全面、深刻的了解。需依可行性，從整體至優出發，極其周詳地進行關聯綜合設計。

高剛性、高穩定機床本體結構設計、制造技術。特別是LODTM機床，由于機身大、自身重，承載工件重量變化大，任何微小的變形都會影響加工精度。結構設計除從材料、結構形式、工藝方面達到要求，還須兼顧機床運行時的可操作性。

超精密工件主軸技術。中、小型機床常采用空氣靜壓主軸方案。空氣靜壓主軸阻尼小，適合高速回轉加工應用，但承載能力較小。空氣靜壓主軸回轉精度可達0.05μm。

LODTM機床主軸承載工件尺寸、重量大，一般宜采用液體靜壓主軸。金屬制品加工指出，液體靜壓主軸阻尼大、抗振性好、承載力大，但液體靜壓主軸高速發熱大，需采取液體冷卻恒溫措施。液體靜壓主軸回轉精度可達0.1μm。為了保證主軸精度和穩定性，無論氣壓源、或液壓源都需恒溫、過濾和壓力精密控制處理。

超精密導軌技術。早期的超精密機床采用氣浮靜壓導軌技術。氣浮靜壓導軌易于維護，但阻尼小，承載抗振性能差，現已較少采用。閉式液體靜壓導軌具有高抗振阻尼、高剛度、承載力大的優勢。國外主要的超精密加工現主要采用液體靜壓導軌。超精密的液體靜壓導軌的直線度可達到0.1μm。

納米級分辨率動態超精密坐標測量技術。激光干涉測量是一種高精度的標準幾何量測量基準，但是，易受環境因素（如：

.氣壓

.濕度

.溫度

.氣流擾動等）影響。

為此，美國LLNL的LODTM坐標激光測量回路采用了真空隔離，和零溫度系數的殷鋼坐標測量框架的措施。這也是激光坐標測量方面的頂尖應用。

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