潔凈空間?凈化工程九大組成——無塵車間生產(chǎn)廠家
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。（風(fēng)淋室廠家）隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)至佳濕度范圍為35—45%。?
潔凈空間?凈化工程九大組成——無塵車間生產(chǎn)廠家小編來為大家娓娓道來：
一：
圍護結(jié)構(gòu)系統(tǒng)：簡單說是頂、墻、地三部分，即組成三維密閉空間的六個面。往細(xì)的說包括門窗、裝飾圓弧等
二：
電氣系統(tǒng)：
照明、動力、弱電三部分，包括凈化燈具、插座、電氣柜、線路、監(jiān)控、電話等強弱電系統(tǒng)；
三：
風(fēng)管系統(tǒng)：包括送風(fēng)、回風(fēng)、新風(fēng)、排風(fēng)管道（凈化工程）、末端及控制裝置等；
四：
空調(diào)系統(tǒng)：包括冷（熱）水機組（包括水泵、冷卻塔等）（或風(fēng)冷管道機級等），管路、組合式凈化空調(diào)箱（包括混流段、初效段、加熱/制冷段、除濕段、加壓段、中效段、靜壓段等）；
五：
自控系統(tǒng)：包括溫度控制、溫度控制、風(fēng)量風(fēng)壓控制、開啟順序和時間控制等；
六：
給排水系統(tǒng)：給水、排水管道、設(shè)施及控制裝置等；
七：
空氣過濾系統(tǒng)：初中高效過濾器等;
八：
潔凈地面：一般采用環(huán)氧樹脂潔凈地面。
九：
其他凈化設(shè)備：如臭氧、紫外線燈、風(fēng)淋（包括貨淋）、傳遞窗、超凈工作臺,互聯(lián)鎖等凈化輔力設(shè)備。
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